emiconductor & Micro-E
Precision Environments for the Nanometer Era.
Core Value
挑战极限的纳米级环境控制
行业痛点
亚 5nm 制程对微振动的零容忍、空气分子污染（AMC）控制、巨额投资下的极端工期要求。
Airkey 解决方案
针对最前沿的晶圆制造与封装工艺，Airkey 打造 ISO 1 级至 ISO 5 级的高标准洁净空间。我们通过先进的流体力学模拟（CFD）优化气流组织，并利用模块化 OSM 技术在数月内交付万平米级的巨型洁净工厂。
技术亮点
- VC-D/E 级微振动控制基座。
- AMC 过滤系统与实时分子监测。
- 高强度、抗静电、防震动的模块化吊顶系统。
